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硅片缺陷檢測解決方案檢測系統

2021-11-29 10:56

硅片是制作晶體管和集成電路的原料。一般是單晶硅的切片。硅片,是制作集成電路的重要材料。光伏行業近年來越來越重視硅片等產品的質量檢測,以往常見的硅片會出現尺寸不合格、崩邊、隱裂等問題。那么國辰是如何解決這一問題的呢?下面和我一起去看看吧

【瑕疵問題】

尺寸不合格、崩邊、隱裂,四邊產生缺角、破碎等缺陷問題。如這些缺陷不能即時快速的被發現,將會影響到的產品的質量

【解決方法】

我們運用機器視覺的原理,對生產線上的硅片進行實時圖像攝取,并通過專門開發的圖像處理分析軟件對圖像進行分析,判斷硅片四周是否有缺陷。如檢測到有缺陷,就會通過聲、光報警提示操作人員及時處理。同時缺陷硅片的圖像被存儲到計算機,供事后查詢、分析。

【硅片在線檢測工藝流程】

硅片在線檢測工藝流程

【產品特點】

1、深度算法:可以根據不良品綜合多維度的邊界特征,進行訓練,做到很多傳統算法不能做到的檢測項目,不斷提高檢測精度;

2、缺陷標識:發現瑕疵時可進行聲光報警,同時產品幅面邊緣可以進行自動標記,提示及時修復,避免大量缺陷產品的產生;

3、信息打印:在檢測到瑕疵時系統會自動統計出當前瑕疵的圖像、面積、位置、大小等信息,同時可連接打印機選擇打印信息;

4、數據庫管理:可以對生產的每卷材料進行精確的質量統計,詳細的缺陷記錄和統計為生產工藝及設備狀態提供了方便,有效保證產品質量;

5、系統聯動:當系統檢測到疵點時進行聲光報警,也可在系統中加入其它連鎖I/O輸出;

6、統計分析:功能豐富的OA軟件,具備存貯、報警、統計分析、報表等功能;

【檢測效果】

通過不斷優化模板設置,進行大批量的測試,檢測系統可檢出非常微小的崩邊、隱裂,四邊產生缺角、破碎等缺陷問題。這些硅片的提前剔除為提升后道工序的品質、減少后續工藝浪費有重要意義。且檢出>99%,誤檢率<0.05%,響應時間0.1s,得到了客戶的認可。

硅片在線檢測效果

小結:目前解決硅片檢測的重要方法是依托機器視覺技術進行解決,通過在線視覺檢測技術實現對人工檢測的替換,提升檢測的準確性和減少人力成本。

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